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首页 > 仪器设备及装置
离子束刻蚀设备.png

离子束刻蚀设备

立式离子束刻蚀系统和卧式离子束刻蚀系统两种,可以实现材料表面清洗、三维结构刻蚀、材料表面终极抛光以及材料减薄等功能,还具备可实现化学辅助离子束刻蚀和反应离子刻蚀等扩展功能的软、硬件基础。
产品型号
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