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原子层沉积系统

逐层镀膜实现对薄膜厚度的精确控制；可以在不平整的3D结构表面实现均匀镀膜，更适用于MEMS制程；自限性反应，薄膜均匀性好、缺陷少、薄膜厚度精确控制；适用于氧化物、氮化物及有机物等多种材料。
产品型号
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